Từ những thế kỷ đầu công nguyên, chùa Dâu đã là một trung tâm Phật giáo nổi tiếng trong nước và ngoài nước. Từ cuối thế kỷ thứ 4, Thiền sư Tỳ-ni-đa-lưu-chi đã mở đạo tràng thuyết pháp tại chùa, lập nên thiền phái đầu tiên ở Việt Nam.
Chùa được ông Mạc Ðĩnh Chi đứng ra dựng lại với qui mô lớn vào thế kỷ 14, và trùng tu nhiều lần ở các thế kỷ tiếp theo. Hiện nay ở sân chùa có tháp Hòa Phong 3 tầng cao khoảng 17m. Trong tháp có chuông lớn đúc dưới triều Cảnh Thịnh (1793), khánh lớn bằng đồng đúc năm Minh Mạng 18. Ngoài ra, còn có tượng Bà Pháp Vân, tượng Kim Ðồng và Ngọc Nữ.